MMS223
產品概述
快反鏡MMS223系列產品，鏡面直徑為5mm，是基于MEMS工藝制造而成的用于低軌衛星或機載、船舶激光通信的快反鏡產品。作為激光通信終端的核心部件，它具有重量輕、體積小、功耗低、面型好、壽命長無疲勞衰減等特點，可替代上一代壓電陶瓷快反鏡。
MMS223-選型表
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產品名稱
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產品圖片
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鏡面直徑
(mm) -
驅動方式
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面型RMS
(nm) -
面型RMS
(λ@632nm) -
諧振頻率
(kHz) -
機械偏轉角
(mrad@55V) -
角度線性度
-
重復定位精度
(μrad) -
鏡面鍍層
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鏡面反射率
(@1550nm) -
封裝尺寸
(mm) -
最大工作電壓
(V) -
標準功耗
(mW)
-
5
準靜態
≤30nm
≤1/20
0.5
X軸：±10.7
Y軸：±10.799.9%
≤10
Au
97.5%
35 x 35 x 6
±110
120
-
5
準靜態
≤30nm
≤1/20
0.7
X軸：±7
Y軸：±799.9%
≤10
Au
97.5%
41 x 41 x 5.5
±110
120
-
5
準靜態
≤30nm
≤1/20
0.55
X軸：±12
Y軸：±1299.9%
≤10
Au
97.5%
41 x 41 x 5.5
±110
120
