本產品是針對基于ToF和FMCW技術的MEMS激光雷達對高性能掃描模組的需求，研制的大轉角系列MEMS微振鏡，用以實現對激光光束的快速偏轉以及高精度調制。在車載激光雷達、工業3D成像中具有廣泛的應用價值，亦可拓展至激光加工、激光通信等領域。

本系列產品掃描角度達60°以上，并搭配5-8mm的光學口徑完成激光信號的高效率收發，實現大視場角內的高精度成像。

本產品是針對基于Raster和Lissajous的激光掃描成像模組的需求，研制的諧振式MEMS微鏡。產品包括單軸系列和雙軸系列，可獨立或雙鏡配合使用來實現不同的掃描模式。

器件鏡面直徑覆蓋0.8~2mm以匹配激光光斑大小，器件頻率可達數十千赫茲，成像分辨率超720p。相較于傳統的投影技術，基于本產品的激光掃描成像系統具有體積小、分辨率高、亮度高等特點，可廣泛應用于各種LBS成像系統，如AR/MR頭顯、車載HUD、微型投影儀等領域，是新型投影顯示的核心技術。

本產品是針對基于高精度捕獲、指向、跟蹤的空間激光通信對高性能精瞄模組的需求，研制的一款基于MEMS技術的快反鏡器件。可在長距離的衛星之間建立高精度、穩定、快速的激光通信鏈路，實現信息快速高效傳遞。

本產品基于自主知識產權MEMS壓電驅動技術，器件采用宇航級氣密封裝，定位精度≤1微弧度，片上集成角度傳感器可實現鏡面位置的精確控制。產品通過了宇航級的力學、溫度以及輻照測試，已完成五十億次加速壽命試驗，填補國內相關領域的空白，達到國際先進水平。