多項核心技術突破
麥鍇公司憑借自主研發(fā)的、國際領先的MEMS快反鏡技術，為我國空間激光通信網(wǎng)絡的建設提供了堅實的支撐
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鏡面尺寸1~15mm，諧振頻率0.1~30 kHz
專業(yè)自主的MEMS
結(jié)構(gòu)設計獨特的雙層堆疊MEMS架構(gòu)，結(jié)合高效能隱藏式壓電致動器協(xié)同設計，構(gòu)筑高頻高占空比的大口徑微鏡產(chǎn)品。
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RMS面型≤20 nm@10mm
獨有的面型修調(diào)技術
晶圓級納米尺度面型修調(diào)工藝，與多層復合薄膜應力控制技術相結(jié)合，開拓高徑厚比MEMS鏡面的高面型精度制備方法。
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重復精度≤2 μrad@3σ，開環(huán)線性度≥99.9%，開環(huán)控制帶寬≥2 kHz
先進的壓電驅(qū)動技術
先進的準單晶高摻雜壓電功能薄膜致動技術，協(xié)同二階上電驅(qū)動算法，實現(xiàn)準靜態(tài)模式下的高精度低延遲定位。
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200余億次全量程加速壽命實驗無衰減
高可靠協(xié)同設計
高穩(wěn)定性單晶硅襯底，結(jié)合抗沖擊MEMS結(jié)構(gòu)設計，以及高可靠性封裝，確保宇航級壽命及可靠性。
生產(chǎn)完全自主可控
麥鍇MEMS產(chǎn)品設計源于傳感技術國家重點實驗室原創(chuàng)專利技術；生產(chǎn)依托國內(nèi)領先、國際先進的8英寸MEMS量產(chǎn)平臺，完成ISO9001/14001/45001體系認證；封裝、測試依托高標準自主產(chǎn)線；產(chǎn)品已通過多項權威機構(gòu)測試，是國內(nèi)真正技術先進、自主可控的原創(chuàng)MEMS壓電微鏡產(chǎn)品。
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8寸 MEMS
先進MEMS制造平臺
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5 ＋
質(zhì)量體系達標
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10 ＋
自主知識產(chǎn)權
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領先研發(fā)平臺
基于國內(nèi)領先
國際先進的MEMS研發(fā)平臺
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重點實驗室原創(chuàng)技術
依托中科院創(chuàng)新體系及國家重點
實驗室原創(chuàng)技術
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傳感器技術平臺
集芯片加工、封裝、測試完整能力
于一體的傳感器技術平臺
