MEMS快速反射鏡已完成連續4百余天、偏轉兩百余億次的加速循環壽命試驗，器件各項指標無衰減，滿足宇航級在軌工作壽命指標。

MEMS快速反射鏡完成了100 krad劑量的存儲輻照以及30 krad劑量的上電輻照測試，輻照前后工作性能保持穩定，滿足不同軌道高度的使用需求。

硅基器件及壓電驅動材料帶來優異的溫度穩定性，MEMS微鏡在-40~+120范圍內諧振頻率、轉角范圍、偏轉精度等關鍵參數具有全溫區穩定性。