MEMS（Microelectromechanical Systems，微機(jī)電系統(tǒng)）工藝是一種在納米至毫米尺度范圍內(nèi)制造微結(jié)構(gòu)的加工技術(shù)。它起源于半導(dǎo)體和微電子工藝，結(jié)合了光刻、外延、薄膜淀積、氧化、擴(kuò)散、注入、濺射、蒸鍍、刻蝕、劃片和封裝等多種現(xiàn)代加工技術(shù)來(lái)制造復(fù)雜三維形體的微加工技術(shù)，本質(zhì)是將機(jī)械系統(tǒng)微型化。MEMS工藝不僅廣泛應(yīng)用于微器件的制造，還推動(dòng)了微型化、集成化和智能化技術(shù)的發(fā)展，為眾多領(lǐng)域帶來(lái)了革命性的變化。

從工作方式上來(lái)看，麥鍇的MEMS微鏡有準(zhǔn)靜態(tài)和諧振態(tài)兩類。

準(zhǔn)靜態(tài)工作模式下，鏡面的控制方式相對(duì)更自由，可以實(shí)現(xiàn)一定頻率內(nèi)任意角度下任意時(shí)間的靜止，配合不同波段的激光，可應(yīng)用于激光通信、矢量掃描成像、空間光調(diào)制等。

諧振態(tài)工作模式下，鏡面可以獲得更大的偏轉(zhuǎn)角度范圍，和快速的掃描頻率（數(shù)值約為MEMS振鏡的諧振頻率）。振鏡在諧振態(tài)工作模式下調(diào)整一些控制信號(hào)參數(shù)，可以得到李薩如圖形。常用于大角度快速激光掃描的投影、成像等領(lǐng)域。

微鏡的主要性能指標(biāo)為：鏡面直徑、諧振頻率、機(jī)械轉(zhuǎn)角。

與市面上的靜電和電磁MEMS微鏡相比，麥鍇的壓電MEMS微鏡是基于新型壓電薄膜技術(shù)產(chǎn)生的高頻大角度振動(dòng)器件，產(chǎn)品具有角度大、高可靠，不易疲勞，不易受電磁干擾、穩(wěn)定性強(qiáng)等高可靠特性。

快速反射鏡（FSM：Fast steering Mirror ），主要功能是通過(guò)精確控制反射鏡面的方向，來(lái)調(diào)整光束的方向。快反鏡具有慣性小、易于安裝和控制、響應(yīng)速度快以及定位精度高的優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于天文望遠(yuǎn)鏡、空間激光通訊、精瞄準(zhǔn)等光學(xué)系統(tǒng)中。

麥鍇的快反鏡從直徑上分，有5mm，8mm，10mm，15mm幾種。

MEMS的快反鏡體積小，重量輕，功耗低，線性度高，沒(méi)有遲滯和蠕變效應(yīng)。

面型的主要衡量指標(biāo)通常用PV值和RMS值來(lái)表示。快反鏡的面型在遠(yuǎn)距離激光通信領(lǐng)域要求比較高，一般要求RMS值為通信波長(zhǎng)的數(shù)十分之一。

目前MEMS的微鏡已經(jīng)進(jìn)行了200余億次的全量程壽命試驗(yàn)，沒(méi)有明顯衰減。

市面上目前的快反鏡多使用壓電陶瓷和音圈電機(jī)的技術(shù)路線。與這些傳統(tǒng)快反鏡產(chǎn)品相比，麥鍇壓電MEMS快反鏡的體積為傳統(tǒng)快反鏡的1/8，重量為1/18，功耗為1/12，對(duì)于在激光通信衛(wèi)星上的應(yīng)用，可以顯著減少衛(wèi)星發(fā)射成本和運(yùn)行功耗，具有顯著優(yōu)勢(shì)。

快反鏡產(chǎn)品是壓電致動(dòng)的產(chǎn)品，特點(diǎn)為低電流大電壓。需要配備升壓電路將電源提升到120V左右，同時(shí)使用高壓放大電路進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，推薦使用的高壓運(yùn)放有：OPA462，ADHV4702等。由于電源類型（正負(fù)電源/單端電源）的不同，推薦使用三種不同的連接結(jié)構(gòu)。

注：驅(qū)動(dòng)方式三僅能夠提供VDD/2的電壓動(dòng)態(tài)范圍。

請(qǐng)?jiān)谏暾?qǐng)樣品時(shí)特別說(shuō)明可提供的正電壓范圍，麥錯(cuò)將為您調(diào)整線序以使得快反鏡工作在正電壓量程。